边国栋/2025年北京市劳动模范/
时间：2025.06.18
边国栋
北京北方华创微电子装备有限公司
副总裁、PVD事业单元总经理
边国栋十五年如一日，扎根于国产高端集成电路PVD装备的研发和产业化工作，为国产高端PVD装备的成功研发奠定了坚实基础。获得30余篇海内外专利授权，其创新成果荣获北京市科学技术进步奖二等奖等多个奖项。
边国栋始终秉持精益求精的工作态度和勇于担当的工作作风，不断拓展国产集成电路装备的产业化应用。作为集成电路装备国产化的践行者，边国栋带领团队成功研制了铝衬垫、铜互连等10余款具有自主知识产权的国产PVD装备，实现了国产高端PVD装备的全覆盖，填补了多项国内空白；其产业化成果荣获集成电路产业技术创新战略联盟“技术创新奖”等多项荣誉，有力地推动了国产集成电路装备的发展。
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