芮守祯/2025年北京市劳动模范 /
时间：2025.06.11
芮守祯
北京京仪自动化装备技术股份有限公司
副总工程师 正高级工程师
芮守祯长期致力于集成电路高端温控装备的开发及产业化应用，组建集成电路专用智能温控设备技术团队，负责制定半导体专用温控装置企业标准，开发的14个系列产品获得了北京市新技术新产品认证；开发出多通道、高精度、超低温、大负载的60多种型号温控设备，覆盖超低温及高温温度区间，填补了国内空白；产品满足国内外多家企业半导体主工艺设备需求，并进入集成电路及液晶面板产线，产品性能已达到甚至超过了国外同类型设备；为国内集成电路制造90~14nm逻辑芯片及64~192层存储芯片制造提供了国产先进温控设备。
芮守祯在我国集成电路产业被国外限制的情况下，解决了集成电路制造高端温控设备的“卡脖子”问题，成功替代进口，为我国集成电路产业发展做出了突出贡献。参与国家科技重大专项等11个省部级项目，荣获8次省部级奖项与5次省部级荣誉，担任4省市评审专家，发表论文11篇，获发明专利56项。
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